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| ?? | FRZ-LCF | FRZ-LCU | FRZ-LCG | FRZ-LCC |
| ?? ?? ??(W) | 100~500? | 5-15 | 20-100 | 20-500 |
| ??(nm) | 1070 | 355 | 532 | 10600 |
| ?? ??(mm/s) | 20000 | |||
| ?? ??(mm) | 100--150 | |||
| ?? ?? | 0--100% | |||
| ?? ?? ?? | 220V±10%, 50Hz | |||
| ?? | ???, ?? ???, ??? | |||
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